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반도체 산업의 판도를 바꾸는 EUV 기술의 비밀
EUV 기술은 나노미터 시대의 문을 여는 열쇠로, 반도체 제조의 핵심 혁신을 이끌고 있습니다왜 EUV 기술이 반도체 산업의 미래를 결정짓는가?극자외선(EUV) 기술은 기존의 한계를 돌파하며더 작고 빠른 반도체 칩을 제조할 수 있는 유일한 해법으로 주목받고 있습니다.7nm 이하 초미세 공정 시대에 접어들면서,EUV는 미세 패턴 구현, 생산 효율 향상, 전력 소모 감소라는세 가지 과제를 동시에 해결할 수 있는 핵심 기술로 떠오르고 있습니다.기존 노광 기술의 한계와 EUV의 돌파구기존 ArF(불화아르곤) 기반 DUV(Deep Ultraviolet) 노광 방식은193nm 파장을 사용하며 한계에 도달하고 있었습니다.패턴을 작게 만들기 위해 멀티 패터닝 기술이 도입되었지만이는 공정 복잡도 증가, 비용 상승, 수율 ..
